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<靶标板点样系统>
采用dispense-touch-go技术实现纳升级点样。
产品参数
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设备尺寸 |
600mm(深)×450mm(宽)×650mm(高) |
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通 量 |
2芯片/批 |
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点样范围 |
100nL-2μL |
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运行速度 |
1分钟/样本 |
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点样方式 |
液滴接触式点 |
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清洗方式 |
设有清洗位,自动清洁点样头内外壁 |
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点样均匀性 |
CV≤10% |
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重复运动定位精度 |
±0.1mm |
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数据接口 |
USB2.0,RJ4 |
